Ионно-плазменная обработка материалов
Ионно-плазменная обработка материалов
Автор: Аскер Кушхов
Дата написания: 2008
Издательство: МИСиС
ISBN:
Цена: 668.00 Руб.
заказать | скачать | читать
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.
Гениальная мысль: Книги надо не прочитывать, но читать и перечитывать.
Отличная шутка: После отказа Билли Клинтона Папе Римскому прекратить на пасху бомбардировки сербии америка выпустила в обращение новую монету. Надпись ` In God we trust ` заменена надписью ` We fuck the God `
Как получить каталог
Посмотреть на сайте
Смотреть наш актуальный каталог можно прямо на сайте, но для заказа рекомендуем скачивать его в формате Excel и уточнять все детали по электронной почте...
Скачать в формате Excel
Нажмите, чтобы скачать: файл в формате Excel, размером 869888 байт, обновленная версия от 10 May 2021 23:01.
Получить по электронной почте
Запрос на каталог, заказы и любые вопросы присылайте в любое время по адресу dvdomdv@mail.ru.
